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ANWENDUNGSFALL

mSAP-Prozessautomatisierung

Saubere Handhabung für die Feinlinienfertigung.

mSAP-Prozessautomatisierung
mSAP / IC-SubstrateSauberkeitsklasse 100ESD-Schutz

Die Produktionsherausforderung.

Die Feinlinien- und Raumfertigung erfordert eine kontrollierte Kontamination, einen stabilen elektrostatischen Schutz und einen Paneltransfer, der den Kontakt mit empfindlichen Schaltkreisen vermeidet.

Ein Fabrikautomatisierungsansatz für mSAP-Prozesse für IC-Substrate, die in KI-Servern und optischen Hochgeschwindigkeitsmodulen verwendet werden.

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TECHNISCHE DETAILS / 01

Ein kontrollierter Rahmen und ein Gehäuse

Eine oben montierte FFU sorgt für saubere Luft rund um das Gerät. Im Präzisionsbelichtungsbereich wird hochglanzpolierter Edelstahl SUS304 verwendet. SUS201-Blech dient den Vorbehandlungs- und Ätzbereichen. Ein abgedichteter Rahmen begrenzt die Öffnungen für den AGV-Zugang und den Plattenein-/auslauf.

Ein kontrollierter Rahmen und ein Gehäuse

TECHNISCHE DETAILS / 02

Partikelarme Förderung und ESD-Kontrolle

Der berührungslose Magnetringantrieb vermeidet Antriebsreibung. UPE-Antistatikwalzen und Ionisierungsstäbe am Ein- und Auslauf verhindern die statische Ansammlung. Geschlossene Übergabemodule und geschlossene igus Energieketten schützen das Bewegungssystem.

Partikelarme Förderung und ESD-Kontrolle

TECHNISCHE DETAILS / 03

Kantengriff und flexible Betätigung

Der Betätigungsmechanismus greift an den Plattenkanten, um den Kontakt mit feinen Schaltkreisen zu vermeiden. Ein oben angebrachter Schmutzfänger schützt das Panel. Die automatische Breitenanpassung ist im MES- und im manuellen Modus verfügbar, mit optionaler Drehung um 90° oder 180°.

Kantengriff und flexible Betätigung

TECHNISCHE DETAILS / 04

Geschütztes AGV-Andocken

Eine schwimmende Transferplattform nimmt den Träger ohne relative Positionierungsreibung auf. Die Erkennung von Trägeranwesenheit, Absenkhindernissen und Ausrichtung hilft dabei, Fehlbeladungen zu verhindern. Die pneumatische Klemmung gleicht Eingangspositionsschwankungen mit einer Positionierung von ±0,5 mm aus.

Geschütztes AGV-Andocken

In der Anwendung.

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mSAP-Förderfläche

mSAP-Förderfläche

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